圖3. MXene基柔性壓力傳感器的傳感機(jī)制示意圖
a) 壓阻式;b) 電容式;c) 壓電式;d) 摩擦電式。
圖4. MXene基壓阻式傳感器的接觸電阻傳感機(jī)制
a) 外部壓力下MXene層間距離變化,為壓阻傳感提供基礎(chǔ)工作機(jī)制;
b) MXene/PVA基壓力傳感器的接觸效應(yīng)傳感機(jī)制;
c) MXene基壓阻傳感器的接觸效應(yīng)機(jī)制;
d) 隨機(jī)高斯分布棘狀表面在不同壓力階段的傳感原理。
注:a) 改編自文獻(xiàn)[16],2017年版權(quán)歸Springer Nature所有;b) 改編自文獻(xiàn)[17],2022年版權(quán)歸Elsevier B.V.所有;c) 改編自文獻(xiàn)[18],2020年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;d) 改編自文獻(xiàn)[19],2019年版權(quán)歸Elsevier Ltd.所有。
圖5. MXene基壓阻式傳感器的其他傳感機(jī)制
a) 電阻率與導(dǎo)電材料濃度的關(guān)系曲線;
b) 外部應(yīng)力下電子能帶結(jié)構(gòu)變化導(dǎo)致電阻率改變;
c) “隧道效應(yīng)”下導(dǎo)電層間距壓縮導(dǎo)致隧穿電阻降低;
d) 斷裂與裂紋擴(kuò)展機(jī)制。
注:b) 改編自文獻(xiàn)[23],2014年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;c) 改編自文獻(xiàn)[27],2021年版權(quán)歸Wiley-VCH GmbH所有。
圖6. MXene基電容傳感器的性能提升與傳感機(jī)制
a) ESEF基電容式電子皮膚傳感器的應(yīng)變/壓力傳感機(jī)制;
b) 傳統(tǒng)(I)、改進(jìn)設(shè)計(II)及贗電容衍生傳感器的壓容機(jī)制對比;
d-I) MXene/PVP基柔性壓力傳感器的制備流程與傳感機(jī)制;
c) 隧道效應(yīng)調(diào)控導(dǎo)電層間距機(jī)制;
d-II) 超級電容器離子電子工作原理。
注:a) 改編自文獻(xiàn)[38],2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;b) 改編自文獻(xiàn)[40],2021年版權(quán)歸Springer Nature所有;c) 改編自文獻(xiàn)[43],2021年版權(quán)歸Springer Nature所有;d) 改編自文獻(xiàn)[49],2021年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有。
圖7. 壓電式柔性壓力傳感器
a) 結(jié)構(gòu)化PVDF復(fù)合納米纖維膜基自供電摩擦壓電傳感器的制備流程;
b) BaTiO3/MXene/PVDF-TrFE柔性壓電壓力傳感器的傳感機(jī)制。
注:a) 改編自文獻(xiàn)[51],2023年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;b) 改編自文獻(xiàn)[52],2023年版權(quán)歸英國皇家化學(xué)會所有。
圖8. 基于摩擦電原理的MXene基柔性壓力傳感器
a) 單電極模式器件工作機(jī)制;
b) PNy 11基傳感器的輸出性能與工作機(jī)制;
c) MXene基自供電傳感系統(tǒng)(MSP2S3)原理;
d) M-TENG接觸-分離模式發(fā)電機(jī)制。
注:a) 改編自文獻(xiàn)[61],2022年版權(quán)歸Elsevier Ltd.所有;b) 改編自文獻(xiàn)[63],2022年版權(quán)歸Elsevier Ltd.所有;c,d) 改編自文獻(xiàn)[64],2022年版權(quán)歸Elsevier Ltd.所有。
圖9. 純MXene材料與復(fù)合材料基柔性壓力傳感器
a) 微通道限域純MXene基壓阻式微力多功能傳感器;
b) TeNWs/Ti3C2Tx納米雜化壓力傳感器傳感機(jī)制;
c) MXene@氮摻雜碳膜制備流程;
d) MX/rGO/P(VDF-TrFE)薄膜基壓力傳感器的制造原理。
注:a) 改編自文獻(xiàn)[65],2020年版權(quán)歸Wiley-VCH GmbH所有;b) 改編自文獻(xiàn)[67],2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;c) 改編自文獻(xiàn)[68],2022年版權(quán)歸Elsevier Ltd.所有;d) 改編自文獻(xiàn)[70],2021年版權(quán)歸Elsevier B.V.所有。
圖10. 基于MXene/紙基材料與MXene/纖維材料的柔性壓力傳感器
a) 紙基可穿戴壓力傳感器的制備流程示意圖;
b) MXene/BF復(fù)合紙的制備示意圖;
c) 基于MTPF的傳感器制備原理圖;
d) MXene/ZIF-67/PAN薄膜制備過程與傳感器器件結(jié)構(gòu);
e) Ti3C2Tx/BC薄膜的制備流程示意圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸英國皇家化學(xué)會所有;
c) 改編自文獻(xiàn),2023年版權(quán)歸Elsevier B.V.所有;
d) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
e) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸Springer Nature所有。
圖11. 基于MXene/泡沫材料的柔性壓力傳感器
a) PMB壓力傳感器的制備原理圖;
b) 高有序PAM Cu導(dǎo)電泡沫的組裝流程示意圖;
c) 導(dǎo)電MPMF的制備方法及傳感機(jī)制示意圖;
d) MXene/PANI泡沫基傳感器的制備示意圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2023年版權(quán)歸Springer Nature所有;
c) 改編自文獻(xiàn),2023年版權(quán)歸AIP Publishing所有;
d) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Wiley-VCH GmbH所有。
圖12. 基于MXene/海綿材料與MXene/棉材料的柔性壓力傳感器
a) 基于CMPP海綿的傳感器制備原理圖;
b) MXene-海藻酸鈉海綿(SMSS)基壓力傳感器的制備示意圖;
c) MCF基壓力傳感器的制備流程示意圖;
d) MXene/SiNPs棉織物的制備原理圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸Elsevier B.V.所有;
c) 改編自文獻(xiàn),2020年版權(quán)歸Elsevier B.V.所有;
d) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸Elsevier B.V.所有。
圖13. 基于MXene/織物材料的柔性壓力傳感器
a) WF@MFS的制備及結(jié)構(gòu)原理圖;
b) MXene基紡織傳感器的制備及人體生理信號監(jiān)測應(yīng)用示意圖;
c) MXene@織物基柔性壓力傳感器的制備流程示意圖;
d) 樹皮狀MXene/紡織織物的制備示意圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2023年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Wiley-VCH GmbH所有;
c) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
d) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸Elsevier Ltd所有。
圖14. 基于MXene/氣凝膠材料的柔性壓力傳感器
a) MXene基氣凝膠的制備流程示意圖;
b) PPy@PBM氣凝膠的制備原理圖;
c) CS/MXene氣凝膠的制備方法示意圖;
d) ANF氣凝膠膜(AAF)及MAAF傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計示意圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Elsevier B.V.所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2023年版權(quán)歸Elsevier B.V.所有;
c) 改編自文獻(xiàn),2023年版權(quán)歸中國科學(xué)出版社所有;
d) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有。
圖15. 基于MXene/水凝膠材料的柔性壓力傳感器
a) MXene納米片與M-OH的制備流程示意圖;
b) PSM有機(jī)水凝膠的制備原理圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2023年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Elsevier Ltd所有。
圖16. 基于MXene與可降解材料的柔性壓力傳感器
a) MXene基傳感膜的降解行為?;鹧嬷蠱MC薄膜的燃燒過程及土壤掩埋前后的降解狀態(tài)光學(xué)圖像;
b) O-MXene基傳感元件(濾紙基底)在5% H?O?溶液中的降解過程;
c) 基于MS-2-10的壓力傳感器降解過程示意圖(在2%醫(yī)用H?O?中4小時降解)。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Elsevier Ltd所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸UESTC與John Wiley & Sons Australia, Ltd所有;
c) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Springer Nature所有。
圖17. 層狀結(jié)構(gòu)與仿生微結(jié)構(gòu)柔性壓力傳感器
a) MXene/Ag納米花膜逐層組裝的傳感器結(jié)構(gòu)示意圖;
b) 基于ZIF-67@MXene的柔性壓力傳感器制備流程;
c) RGO/MXene基壓力傳感器的制造原理圖;
d) MXene/PPNs/MXene/TPUEM復(fù)合膜的制備過程示意圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Wiley-VCH GmbH所有;
c) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
d) 改編自文獻(xiàn),2023年版權(quán)歸Elsevier B.V.所有。
圖18. 基于層級微網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的柔性壓力傳感器
a) SMPCN膜基傳感器的制備原理圖;
b) 金字塔狀MXene薄膜基柔性壓力傳感器的制備流程;
c) 褶皺結(jié)構(gòu)MXene薄膜基超靈敏壓力傳感器的制備示意圖;
d) 海膽狀微結(jié)構(gòu)平面絲繭壓力傳感器的制備示意圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸英國皇家化學(xué)學(xué)會所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Wiley-VCH GmbH所有;
c) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸作者所有,Informa UK Limited出版;
d) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有。
圖19. 基于泡沫、海綿與棉質(zhì)三維結(jié)構(gòu)的柔性壓力傳感器
a) AgNps@MXene@PEDOT:PSS泡沫傳感器與密封墊工作機(jī)制的結(jié)構(gòu)示意圖;
b) MXene/PANI復(fù)合海綿的制備流程示意圖;
c) 氦等離子體處理的MXene@PU壓阻傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計與傳感機(jī)制;
d) MXene墨水的制備及層狀多孔MXene植物纖維海綿的構(gòu)建過程。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Springer Nature所有16;
b) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸Elsevier Ltd所有36;
c) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Wiley-VCH GmbH所有67;
d) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有36。
圖20. 基于氣凝膠三維結(jié)構(gòu)的柔性壓力傳感器
a) FCMA氣凝膠的制備流程示意圖;
b) GPM氣凝膠的合成過程示意圖;
c) 超疏水F-MXene@C-CNTs/CCS氣凝膠的結(jié)構(gòu)設(shè)計示意圖;
d) MXene墨水與層狀多孔MXene植物纖維海綿的制備過程,以及MXene/PHMP水凝膠相互作用示意圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Elsevier Ltd所有;
c) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸Elsevier B.V.所有;
d) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸Wiley-VCH GmbH所有。
圖21. 基于其他材料三維結(jié)構(gòu)的柔性壓力傳感器
a) 三維多孔MFNS結(jié)構(gòu)示意圖;
b) 基于W/ILs Pickering乳液制備MXene基多孔材料的流程示意圖;
c) 多孔褶皺MXene球體的合成方案及可降解MXene壓力傳感器的制備原理圖;
d) 獨(dú)立式三維MXene/PDMS支架的構(gòu)建過程示意圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Elsevier Inc.所有;
c) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Springer Nature所有;
d) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Wiley-VCH GmbH所有。
圖22. 基于激光輔助制備的柔性壓力傳感器
a) 激光燒蝕策略制備柔性壓力傳感器叉指電極與電路的結(jié)構(gòu)示意圖;
b) 用于MXene基傳感陣列的4×4像素電極陣列的激光加工示意圖;
c) 基于MXene-有機(jī)水凝膠的8×8像素陣列的構(gòu)建原理圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Elsevier B.V.所有^;
b) 改編自文獻(xiàn),2020年版權(quán)歸英國皇家化學(xué)學(xué)會所有^[148];
c) 改編自文獻(xiàn),2023年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有^[118]。
圖23. 基于真空過濾輔助制備的柔性壓力傳感器
a) 微結(jié)構(gòu)電容式壓力傳感器的制備流程示意圖;
b) 層狀MXene/ANF復(fù)合傳感器的制備流程示意圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸Springer Nature所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有。
圖24. 基于絲網(wǎng)印刷輔助制備的柔性壓力傳感器
a) 絲網(wǎng)印刷技術(shù)制備的傳感器叉指電極結(jié)構(gòu)示意圖;
b) 層狀MXene/ANF復(fù)合傳感器的制備流程示意圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸Elsevier B.V.所有。
圖25. 基于靜電紡絲輔助制備的柔性壓力傳感器
a) 靜電紡納米纖維膜的制備流程示意圖;
b) 基于MXene/PVP復(fù)合納米纖維膜的壓力傳感器靜電紡絲工藝示意圖;
c) 通過靜電紡絲工藝制備CNS基傳感器的原理圖;
d) INM基電容式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸英國皇家化學(xué)學(xué)會所有;
c) 改編自文獻(xiàn),2020年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
d) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有。
圖26. 基于冷凍干燥輔助制備的柔性壓力傳感器
a) 利用單向冷凍技術(shù)制備各向異性PVDF/MXene復(fù)合器件的原理圖;
b) 通過冷凍干燥輔助沉積技術(shù)制備MXene/PANI復(fù)合海綿的流程示意圖;
c) 采用冷凍干燥技術(shù)制備壓阻式MGP海綿及其傳感器的工藝示意圖;
d) 基于冷凍干燥技術(shù)制備CCF/MXene復(fù)合氣凝膠的結(jié)構(gòu)示意圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Elsevier B.V.所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸Elsevier Ltd.所有;
c) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸Elsevier Ltd.所有;
d) 改編自文獻(xiàn),2021年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有。
圖27. 基于浸涂與浸漬干燥輔助制備的柔性壓力傳感器
a) 浸涂技術(shù)制備MXene/無紡布電極與IG/無紡布電解質(zhì)的工藝流程示意圖;
b) 通過浸涂法制備MX/rGO PET復(fù)合材料的工藝示意圖。
注:
a) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有;
b) 改編自文獻(xiàn),2022年版權(quán)歸美國化學(xué)學(xué)會所有。